包头市晶鑫稀土新材料有限公司
Baotou Jingxin Rare Earth New Materials Co., Ltd
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钇靶Y

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种类成份规格种类成份规格




(%)
TREM99%




(%)
Fe0.1
Y/TREM99.9%C0.02
La/TREM0.01Si0.05
Ho/TREM0.02Ca0.1
Er/TREM0.02Mg0.02
Yb/TREM0.01Al0.05
Tm/TREM0.01O0.2
//W0.3
以上产品规格可以根据客户要求定制


靶材介绍

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,通过更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。通常是在真空中加热蒸发形成薄膜,可以通过磁控溅射、电子束蒸发、激光溅射等技术来制备薄膜。

优质靶材的要求
1、杂质含量低,纯度高。靶材的纯度影响薄膜的均匀性。

2、高致密度。高致密度靶材具有导电、导热性好、强度高等优点,使用这种靶材镀膜,溅射功率小,成膜速率高,

薄膜不易开裂,靶材使用寿命长,而且溅镀薄膜的电阻率低,透光率高。

3、成分与组织结构均匀。靶材成分均匀是镀膜质量稳定的重要保证。
4、晶粒尺寸细小。靶的晶粒尺寸越细小,溅镀薄膜的厚度分布越均匀,溅射速率越快。
靶材的分类
按照化学成分
不同可分为
(1)金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)。
(2)合金靶材(镍铬合金、镍钴合等)。
(3)陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。
按照形状不
同可分为
矩形靶、圆形靶、柱形靶、空心旋转圆管靶以及异形靶。
按照应用领域不同可分为(1)半导体芯片靶材
(2)平面显示器靶材
(3)太阳能电池靶材
(4)信息存储靶材
(5)电子器件靶材
(6)其他靶材


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