铈靶Ce

靶材介绍

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。通常是在真空中加热蒸发形成薄膜，可以通过磁控溅射、电子束蒸发、激光溅射等技术来制备薄膜。




优质靶材的要求

1、杂质含量低，纯度高。靶材的纯度影响薄膜的均匀性。
2、高致密度。高致密度靶材具有导电、导热性好、强度高等优点，使用这种靶材镀膜，溅射功率小，成膜速率高，薄膜不易开裂，靶材使用寿命长，而且溅镀薄膜的电阻率低，透光率高。


3、成分与组织结构均匀。靶材成分均匀是镀膜质量稳定的重要保证。
4、晶粒尺寸细小。靶的晶粒尺寸越细小，溅镀薄膜的厚度分布越均匀，溅射速率越快。

靶材的分类

按照化学成分不同可分为		（1）金属靶材（纯金属铝、钛、铜、钽等）。
		（2）合金靶材（镍铬合金、镍钴合等）。
		（3）陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。
按照形状不同可分为		矩形靶、圆形靶、柱形靶、空心旋转圆管靶以及异形靶。
按照应用领域不同可分为		（1）半导体芯片靶材
		（2）平面显示器靶材
		（3）太阳能电池靶材
		（4）信息存储靶材
		（5）电子器件靶材
		（6）其他靶材